真空チャンバー付ボイドレスリフロー

• 12インチと8インチウェハーの両サイズに対応したリフロー炉です。
  6ゾーンタイプの回転式リフロー炉にすることで、コンパクト化を実現しました。
• メインゾーンでは、加熱しながらの局所真空引きによって、ボイド発生を低減します。
• 加熱システムは、プリヒーター：3ゾーン、冷却1ゾーン(温度コントロール付)メイン1ゾーンの5ゾーン構成です。
• モニター上では生産レシピ以外に、生産中のウェハー位置が一目で分かるようにシグナル表示。
  そのほか、運転中の動作表示灯があります。
• 水素プラズマ処理(オプション)の追加が可能。
• フラックス回収機構を標準装備しました。
• 真空10Pa以下、酸素濃度50ppm以下です。

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