MK-1208

視覚認識装置付全自動高速スクリーン印刷機
8・12インチウェハー印刷機

製品概要

  • 8インチ、12インチのウェハーどちらにも対応可能です。
  • マスク枠750mm×750mmのサイズに対応しております。
  • ノンコンタクトアライメントによりウェハーの位置補正を行う事で、ウェハーを痛めず位置補正を行います。
  • 世界最高クラスの印刷位置合せ繰返し精度(±0.003mm以下、画像認識使用時)でCSPバンプΦ0.05mmに対応します。
  • シンプルな構造、シンプルな操作によりオペレータの熟練が不要です。
  • OSにはオペレータフレンドリーな「WindowsXP」を採用、同一OS内での複数言語対応(日本語・英語・中国語)を実現。
  • ロータリースキージを使用することにより、ハンダの劣化及び消費量を抑えることができます。高品質な製品ができるとともに、コスト削減にも貢献いたします。
スクリーン枠寸法 (X)750×(Y)750mm(T)25〜40mm
対象ウェハー寸法 8インチ 12インチ
外形寸法 (D)1400×(W)2800×(H)1600mm
重量 800kg
印刷位置合せ繰り返し精度 ±0.003mm以下
使用電源 AC200V 2KVA 50/60Hz
画像処理方法 多値化パターンマッチング
標準搭載 リニアスケール
加圧版離れユニット
ロータリースキージユニット
サーボコントロールクリーニングユニット

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