
視覚認識装置付全自動高速スクリーン印刷機
8・12インチウェハー印刷機


- 8インチ、12インチのウェハーどちらにも対応可能です。
- マスク枠750mm×750mmのサイズに対応しております。
- ノンコンタクトアライメントによりウェハーの位置補正を行う事で、ウェハーを痛めず位置補正を行います。
- 世界最高クラスの印刷位置合せ繰返し精度(±0.003mm以下、画像認識使用時)でCSPバンプΦ0.05mmに対応します。
- シンプルな構造、シンプルな操作によりオペレータの熟練が不要です。
- OSにはオペレータフレンドリーな「WindowsXP」を採用、同一OS内での複数言語対応(日本語・英語・中国語)を実現。
- ロータリースキージを使用することにより、ハンダの劣化及び消費量を抑えることができます。高品質な製品ができるとともに、コスト削減にも貢献いたします。
| スクリーン枠寸法 |
(X)750×(Y)750mm(T)25〜40mm |
| 対象ウェハー寸法 |
8インチ 12インチ |
| 外形寸法 |
(D)1400×(W)2800×(H)1600mm |
| 重量 |
800kg |
| 印刷位置合せ繰り返し精度 |
±0.003mm以下 |
| 使用電源 |
AC200V 2KVA 50/60Hz |
| 画像処理方法 |
多値化パターンマッチング |
| 標準搭載 |
リニアスケール
加圧版離れユニット
ロータリースキージユニット
サーボコントロールクリーニングユニット |
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