真空キュア炉
- アンダーフィル工程において、予備加熱真空脱泡を行うインライン型、バキューム機能付きキュア炉として開発しました。
- ワークはJEDECトレイにてバッチ処理を行います。
- トレイを加熱ゾーンに搬送し、予備加熱及び真空引きを行い、ボイドを除去します。
- 特殊遠赤外線パネルをワーク上下に配置し、非接触にて加熱します。
- 真空排気流量を２段階に設定でき、真空時間及びベント切換時間を自由に設定できます。
- 真空到達圧は１０pa以下を実現。
- 機械仕様としてクリーンルーム仕様及び半導体業界指定のSEMI認証を取得済みです。
| JEDECトレイサイズ | 135mm×315mm |
|---|---|
| 搬送方式 | コンベア搬送 |
| 真空到達圧 | 10pa以下 |
| 熱電対 | K熱電対 |
| 加熱方式 | 上下面スペースヒータ×2個 316mm×126mm×4mm 1350W |
| 外形寸法 | （D）1000×（W）1480×（H）1400mm（シグナルライト除く） 但し、お断りなく変更することがあります。 |
| 重量 | 約400kg 但し、お断りなく変更することがあります。 |
| 使用電源 | 三相AC200V 約6KVA 50/60Hz |
| 使用エアー（消費量） | 0.49MPa以上（約30NL/min） |
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