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〒183-0026 東京都府中市南町5-38-32
ミナミ株式会社（本社工場）
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ミナミ株式会社（本社工場）
PLR-300
レーザーリフロー PLR-300
特徴
- 生産能力向上：1ショット 一括照射
- 照射エリアの幅をCh設定で任意に変更可能
- 段取り時間短縮：プロファイル切替え時の炉内温度調整が不要
- メンテナンス工数削減：炉内の清掃不要
- ランニングコスト削減：窒素ガス不要、消費電力を大幅削減
- 赤外線サーモカメラにより、リアルタイムで温度プロファイルを確認可能
- パワーメータにより、レーザーコンディションを確認
| 標準仕様 | |
|---|---|
| タクト | レーザー照射時間：1～3秒 |
| レーザービーム | １ショット 一括照射 |
| レーザーパワー | 14Kw (MAX 300x300mm) |
| レーザー最大温度 | 500℃/Max |
| レーザー波長 | NIR |
| ステージ温度 | 150℃/Max |
| ワークサイズ | ・Panel：□ (Ｘ)300ｘ(Ｙ)300㎜ （MAX） ・Wafer：φ12inch （MAX） |
| 温度監視システム | リアルタイム赤外線サーモセンサー |
| 冷却システム | 水冷チラー |
外観図
ミナミ株式会社 本社 〒183-0026 東京都府中市南町5-38-32
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